XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)
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英制单位
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公制单位
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测量范围(Summit 450)
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18" X18"X6"
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450X450x150mm
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测量范围(Summit 600)
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18" X24"X6"
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450X600x150mm
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测量范围(Summit 800)
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30" X31"X6"
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760X800x150mm
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尺寸(Summit 450/600)
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40" X65X76"
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1016X1650X1930mm
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尺寸(Summit 800)
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56" X74.2X76"
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1422X1884X1930mm
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负载能力
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50kg
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分辨率
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0.1um (可选 0.04umX-Y)
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光学
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双重放大 (物镜X)
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低
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0.8
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1.0
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2.5
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5.0
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10.0
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25.0
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高
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3.2
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4.0
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10.0
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20.0
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40.0
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100.0
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标准物镜
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2.5X
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可选物镜
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0.8X,1.0X,5X,10X
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照明
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LED 背光,LED 同轴面光
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可选特征
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多色可编程环形光源
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Ronchi 栅格自动聚焦
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TTL激光
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光谱探针
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旋转工作台
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兆像素数码相机
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高速测量和连续图像获取
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特征：
- 测量范围：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm
- 50公斤承载力
- 亚微米的光栅尺分辨率
- 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
- 可选的X-Y无阻力线性马达驱动，平台速度400 mm/秒
- 误差映射：在XY平面非线性二维纠错
- 双重放大光学系统，固定镜头，内部放大1-4倍
- 可编程LED平台背光及同轴表面光照明
- 可编程多色（红、蓝、绿、复合白色）环形灯(PRL)选项
- TTL激光选项，具有自动聚焦和扫描功能
- 三角和共焦激光位移传感器选项
- SpectraProbeTM 高分辨率彩色传感器选项
- 好的图像处理性能，快速、好、稳健
- 双通道，数字式，1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例
- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel
- 的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg
- 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台，上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备
- 强大的测量软件和数据分析工具可供选择
- 平均无故障工作时间 MTBF ≥ 8,000 小时
Summit的应用范围包括：
半导体/电子
PCB板与Stencil
光罩
引线框，引线接合，柔性线路板，连接器
元件贴装
锡膏/环氧数脂胶点
芯片载体和托盒
喷墨打印机墨盒
数据存储
磁盘介质基板
滑块和悬臂组(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和机加工件
模具和DAO具
医某疗设备
燃料喷射部件
手表组件
